美國(guó)路陽(yáng)除了推出新一代輕巧機(jī)型可供設(shè)備管道間之清潔管理外,另推出LUYOR-36表面檢查燈,可供工作對(duì)象清潔管理之用。
美國(guó)路陽(yáng)的紫光微粒檢出機(jī)系利用特殊的UV燈源,透過(guò)濾光片過(guò)濾產(chǎn)生出介于295nm 到 420nm波長(zhǎng)的紫外光。該波段針對(duì)任何可能具有熒光成分的塵屑(如PCB之纖維、樹(shù)酯…等)、水漬、油漬及一些容易靜電吸附的異物,具有很好的辨識(shí)效果,作業(yè)員可輕易用眼睛辨視出來(lái),并透過(guò)無(wú)塵布的擦拭而達(dá)到清潔之目的。
由于業(yè)者常利用紫光微粒檢出機(jī)來(lái)檢查大型設(shè)備的落塵狀況,但是因?yàn)椴糠謾C(jī)臺(tái)內(nèi)部管道狹窄,人員不易進(jìn)出,故希望能縮小機(jī)臺(tái)的重量或是體積。 有鑒于此,美國(guó)路陽(yáng)日前正式推出輕巧型手電筒式紫光微粒檢出機(jī),可大幅提高使用之方便性。據(jù)了解,該新機(jī)型除沿用頗受好評(píng)鋰電模塊,另提供座充及機(jī)臺(tái)直接充電兩種選擇。使用者不必?fù)?dān)心機(jī)臺(tái)使用到一半而電力耗盡,可迅速作備份鋰電模塊之更換。
除此之外,美國(guó)路陽(yáng)全新推出LP-40PY表面檢查燈有別于黃綠光微粒檢出機(jī),專門(mén)適用于如晶圓、玻璃光罩、LCD ITO、DVD、光學(xué)玻璃等工作對(duì)象檢查。LP-40PY表面檢查燈利用500nm以上眼睛感覺(jué)zui舒服的波段,來(lái)做particle及刮傷的判別檢查。 操作者長(zhǎng)時(shí)間操作對(duì)眼睛并不造成負(fù)擔(dān),也不容易感到疲倦。
由于客戶可分別利用LUYOR-36紫光微粒檢出機(jī)及LP-40PY表面檢查燈做設(shè)備及工作對(duì)象清潔度管理,進(jìn)而提高制程良率。因此目前該公司的產(chǎn)品已獲得國(guó)內(nèi)各半導(dǎo)體、PCB、LCD及光電大廠廣泛采用。
微粒檢出機(jī)就是適應(yīng)工業(yè)越來(lái)越高的環(huán)境要求而研發(fā)生產(chǎn)的高科技表面污染檢查設(shè)備,它的應(yīng)用有效解決了企業(yè)制程環(huán)境適時(shí)控制問(wèn)題,受到大量工藝及制程工程師和企業(yè)主的歡迎,在提升產(chǎn)品品質(zhì)上也開(kāi)始扮演重要角色,因而也受到相關(guān)品質(zhì)部門(mén)人員的歡迎。近年來(lái)微粒檢查機(jī)越來(lái)越廣泛的應(yīng)用于工業(yè)電子及生物醫(yī)藥無(wú)塵室環(huán)境控制,其主要作用是能有效地將肉眼不可見(jiàn)之微粒有效檢出及可視化呈現(xiàn),極其適合于工業(yè)管理者對(duì)無(wú)塵室的適時(shí)檢查(手持式表面檢查燈),也可用于工業(yè)制程環(huán)境的改善和品質(zhì)控制管理(桌上型表面檢查燈)。
根據(jù)不同的制程要求有紫光、綠光及白光燈,實(shí)踐證明UV表面微粒檢查機(jī)對(duì)對(duì)曝光機(jī); 顯影機(jī)、蝕刻、黃光及偏光板貼附機(jī)臺(tái)效果zui為顯著。UV光是使用用人體無(wú)害的 UVA 波長(zhǎng): 365nm ,對(duì)於制程機(jī)臺(tái) or Parts Cleaner 機(jī)臺(tái)上之有機(jī)物質(zhì),油漬、水漬、 帶靜電Paricle、毛屑、纖維、膠類物質(zhì)Particle皆可觀察。它們的應(yīng)用有利于提高環(huán)境要求,改善無(wú)塵室管理及更有效地控制,符合工業(yè)發(fā)展的潮流。較無(wú)法觀察金屬鐵屑、玻璃及白底的地方,需強(qiáng)光或換一個(gè)較暗的背景。
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